首要对接好液氩充装口与外运槽车充装口之间的运送管道，第一次充装能够从液氩储槽底部充装，或从顶部充装。正常运用时挑选顶部充装较好。
封闭增压器出进口手动阀门，翻开槽车与冲装口的放空阀门，正常排放2-3分钟，将运送管里的空气排净；翻开储罐进步液阀和槽车进步液阀，将储罐里压力排放在槽车里。
是选用空浴式，液氩经过汽化器散热翅片，与空气进行热交换，使液氩汽化输出。汽化后的氩气经缓冲罐后送到使设备，纯度到达工艺技术要求。放空阀确保储槽内压力不超高；增压阀确保储槽内的压力维持在规则的规模；液氩流量调理阀操控液氩的汽化量，安稳汽化后氩气的压力。
1.3对人体的损害：氩气为惰性气体对人体无直接损害。可是，假如工业运用后，发生的废气则对人体损害很大，会形成矽肺、眼部损坏等状况。
氩自身无毒，但在高浓度时有窒息效果。当空气中氩气浓度高于33%时就有窒息的风险。当氩气浓度超越50%时，呈现严峻症状，浓度到达75%以上时，能在数分钟内逝世。液氩能够伤皮肤，眼部触摸可引起炎症。所以出产场所要通风，而且，从事与氩气有关的技术人员，每年守时进行职业病体检，确保身体健康。
本体系由低温液氩储槽、汽化器、阀门、管路及仪控体系等组成。质料液氩经储槽液体出口阀，进入2台汽化器（一用一备）汽化，汽化后储存到10m³缓冲罐，压力为0.7MPa，经过自力式减压阀减压后，压力为0.48MPa,别离供应单晶炉和多晶运用。
液氩储槽由储槽主体、增压器、压力调理设备、安全维护设备及仪控体系等组成。储槽靠双层容器结构来保温，夹套中心填充珠光砂并抽真空来确保。仪控体系包含槽内压力、液面显现用的压力表、液面计，二次外表和主动调理阀等。储槽内筒压力增压是由增压器来完结的，当储槽对外界输出液氩有压力要求时，调整该压力设定值可到达要求。
将外运槽车的储槽增压到0.70 Mpa左右，微Hale Waihona Puke Baidu槽车储槽的出口阀门，翻开液氩储槽进步液阀（或下进液阀门），一起缓慢翻开液氩储槽放空阀，使液氩储罐压力缓慢下降。
翻开槽车储槽出口阀门，使液氩进入储槽，经过放空阀门操控储槽压力，使储槽压力小于外运槽车储槽内压力，利于液氩进入储槽。
充装完结后，先封闭储槽进口阀门，翻开充装口排污阀门，封闭外运槽车氩气出口阀门，经过排污口进行泻压，然后拆开衔接管道即完结液氩充装作业。
1.1氩气简介：氩气是一种无色、无味的惰性气体，分子量39.938，分子式为Ar，在规范状态下，其密度为1.784kg/m³。其沸点为-185.7℃。在科研和工业出产里，通常用灰色钢瓶盛装氩气。液态氩气：1.40t/m³
1.2主要用途：氩气是现在工业上使用很广的稀有气体。它的性质非常不生动，既不能焚烧，也不助燃。在飞机制造、造船、原子能工业和机械工业部门，对特别金属，例如铝、镁、铜及其合金和不锈钢在焊接时，往往用氩作为焊接维护气，避免焊接件被空气氧化或氮化。
查看液氩储槽一切阀门和接口是否有漏气现象，充装完结后，翻开手动增压阀，并坚持储罐压力在0.70Mpa以下。
