本系统由低温液氩储槽、汽化器、阀门、管路及仪控系统等组成。原 料液氩经储槽液体出口阀，进入2台汽化器（一用一备）汽化，汽化后储 存到10m³缓冲罐，压力为0.7MPa，经过自力式减压阀减压后，压力为 0.48MPa,分别供给单晶炉和多晶使用。 2.1 液氩储槽 液氩储槽由储槽主体、增压器、压力调节装置、安全保护装置及仪控系 统等组成。储槽靠双层容器结构来保温，夹套中间填充珠光砂并抽真空 来保证。仪控系统包括槽内压力、液面显示用的压力表、液面计，二次 仪表和自动调节阀等。储槽内筒压力增压是由增压器来完成的，当储槽 对外界输出液氩有压力要求时，调整该压力设定值可达到要求。
稳定性：稳定； 聚合危害：不聚合； 禁配物：无； 分解产物：无 。 避免接触的条件：明火、高热；
急性毒性：无资料 ； 皮肤刺激或腐蚀：无资料 眼睛刺激或腐蚀：无资料； 呼吸或皮肤过敏：无资料 生殖细胞突变性：无资料； 致癌性：无资料 生殖毒性：无资料； 特异性靶器官系统毒性 —一次性接触：无资料； —反复接触：无资料 吸入危害：高浓度时，使氧分压降低而发生窒息。氩浓度达50%以上，则引起严重症 状；75以上时，可在数分钟内死亡。当空其中氩浓度增高时，先呈呼吸加速，注意力 不集中，共济失调；继之，疲倦乏力、烦躁不安、恶心、呕吐、昏迷、抽搐，以至死 亡。液态氩可致皮肤冻伤，眼部接触可引起炎症。 刺激性：无资料
储存区域内不应有火源，存储温度不可高于125F(52℃),存 储区域应远离频繁出入处和紧急出口。 存储区不应有盐或其他腐蚀性物质.对于还未使用的气瓶应 保持保护阀盖和输出阀的密封完好。将空瓶与满瓶分开存放。 避免过量存储和存储时间过长。使用先进先出系统保持好的库 存纪录.
首先对接好液氩充装口与外运槽车充装口之间的输送管道，第一次充装可以从液氩 储槽底部充装，或从顶部充装。正常使用时选择顶部充装较好。 关闭增压器出进口手动阀门，打开槽车与冲装口的放空阀门，正常排放2-3分钟，将 输送管里的空气排净；打开储罐上进液阀和槽车上进液阀，将储罐里压力排放在槽车里。
外观与性状：无色无臭气体，不燃烧。 低温液化成无色液体 。 PH值：无意义 熔点（℃）：-189.2 相对密度（水=1）：1.40(液体,-186℃) 沸点（℃）：-185.7 相对蒸气密度（空气=1）：1.38 饱和蒸气压（KPa）：202.64/-179℃ 辛醇/水分配系数的对数值：无资料 闪点（℃）：无意义 爆炸上限%（V/V）：无意义 引燃温度（℃）：无意义 爆炸下限%（V/V）：无意义 自然温度（℃）：无意义 分解温度（℃）：无意义 易燃性：不燃 溶解性：微溶于水。 主要用途：纯氩大多数都用在金属焊接、冶炼等。高纯氩主要用作半导体工业， 稀有金属、有色金属的冶炼，焊接中的保护气，特种灯泡的充填气，气相色 谱分析用载气及配制标准气的底气等。
2.2 较大危险性事故 2.2.1 按氧气公司应急救援预案总则报警程序报警。 2.2.2 控制事故源。 2.2.1.1 当班调度通知电工岗位人员切断罐区及周围一些范围内电源。 2.2.1.2 关闭泄漏管道或阀门对应空分装置液体储罐重锤，对于没有重锤的储罐，关闭 罐体底部的液体输送总阀门。 2.2.1.3 以泄露点50米为半径设立警戒线，禁止所有车辆和非抢险人员进入现场，在现 场的车辆严禁启动，非抢险人员立即撤离事故现场，抢险人员关闭手机等不带防爆功能 的通讯器材。 2.2.1.4 采取隔离措施，防止事故液体罐周围设备、设施发生燃烧或冻裂。 2.3.2 消除事故源 2.3.2.1 若为液氧泄漏，地面液体未完全蒸发前区域内暂停一切动火作业，通知质检化 验人员在警戒线边做氧含量分析，若氧含量超过23%，适当扩大警戒线范围，直至分析氧 含量小于23%；若为液氮或液氩泄露，进入警戒线内的抢险人员一定佩带呼吸器，抢险人 员在抢险时尽量站在上风口。 2.3.2.2 视情况转移事故区域内易燃易爆物品。 2.3.2.3 由指挥部确定泄漏点堵漏处理方案，进行实施。
急救措施 皮肤接触：若有皮肤冻伤，先用温水洗浴，再涂抹冻伤软膏，用消毒纱 布包扎。 眼睛接触：立即翻开上下眼睑，用流动清水或生理盐水冲洗，就医。 吸 入：简单窒息.氩无毒,但可能由于取代了空气中的氧而导致窒息. 缺氧会引起系列伤害或死亡。迅速撤离现场到空气新鲜处；如呼吸停止， 进行人工呼吸；如呼吸困难，给输氧。 食 入：无资料
将外运槽车的储槽增压到0.70 Mpa左右，微开槽车储槽的出口阀门，打 开液氩储槽上进液阀（或下进液阀门），同时缓慢打开液氩储槽放空阀，使 液氩储罐压力缓慢降低。 打开槽车储槽出口阀门，使液氩进入储槽，通过放空阀门控制储槽压力， 使储槽压力小于外运槽车储槽内压力，利于液氩进入储槽。
充装完成后，先关闭储槽进口阀门，打开充装口排污阀门，关闭外运槽车氩气出口 阀门，通过排污口进行泻压，然后拆开连接管道即完成液氩充装工作。
生态毒性：无资料； 潜在的生物累积性：无资料； 持久性和降解性：无资料 土壤中的迁移性：无资料
废弃物性质：废气 ，非危险废物； 废弃处置方法：排放大气。 废弃需要注意的几点：通风要良好，严防出现高浓度聚集。
危险货物编号：22011 ； UN编号：1006 包装标志：永久或液化气体，不易燃，无毒 包装类别：Ⅲ 包装方法：钢质无缝气瓶 运输需要注意的几点：夏季应早晚运输，防止日光曝晒。运输按规定路线行驶。
化学品中文名称：氩气、液氩 ； 氩 分子式： Ar 化学品俗名或商品名：纯氩、高纯氩、液氩、工业氩 化学品英文名称：argon Liquid argon 地址： 邮编： 电子邮件地址： 电话/传真号码： 企业应急电话： 化学品推荐用途和限制用途：应用在气体配置，工业氩大多数都用在金属焊接，高纯 氩在半导体工业中用作生产高纯硅和锗晶体的保护气体；可用作系统清洗、屏蔽 和增压用的惰性气体。
最高容许浓度：中国未制定标准；美国TVL-TWA，ACGIH窒息性气体。 监测方法：气相色谱法 工程控制：生产的全部过程密闭，加强通风。 呼吸系统防护：一般不需特殊防护。当作业场所空气中氧气浓度低于18 ％时，必须佩戴空气呼吸器、氧气呼吸器或长管面具。 眼睛防护：一般不需特殊防护。 皮肤和身体防护：穿一般作业工作服，液氮时做好个人防护。 手防护：戴一般作业防护手套。液氮时戴长臂手套。
危险特性：受热后瓶内压力增大，有爆炸危险。 有害燃烧产物：无意义 ； 灭火方法及灭火剂：无意义； 灭火需要注意的几点：无意义。
泄漏应急处理 作业人员保护措施、防护装备：大量泄漏时应急处理人员戴自给式呼吸器， 穿工作服。 低温液体泄漏时应做好自身防护 。 处置程序：迅速撤离泄漏污染区人员至上风处，并隔离直至气体散尽。切 断气源，通风对流，稀释扩散。液氩泄漏时，须穿戴防护用具进入现场， 保证现场通风。让泄漏氮自行挥发。泄漏容器不能再用，及时返回厂家。 消除方法：切断气源，抽排（室内）或强力通风（室外）。如有可能，将 漏出气用排风机送至空旷地方。液体泄露设法关闭泄漏源，自行挥发，做 好现场通风。 环境保护措施：无污染。
操作处置需要注意的几点：密闭操作，提供良好的自然通风条件。通风不 足的情况下，应带适当的呼吸装置。一般不需特殊防护，穿工作服，液
配备泄漏应急处理设备。使用后，气瓶余压不低于0.3MPa。 储存需要注意的几点：储存于阴凉、通风仓间内。仓温不宜超过30℃。远 离火种、热源。防止阳光直射。验收时要注意品名，注意验瓶日期，先 进仓的先发用。
主要物化危险性：压缩气体，不支持燃烧，钢瓶容器受热易超压，有爆炸危险。低温液体易导致冻伤。 GHS危险性类别：压力下气体：压缩气体（GB20580） 压力下气体：液化气体（GB20580）（液氩） 防范说明：远离热源、火源，避免野蛮作业，佩戴好安全附件。在运输中钢瓶上要加装安全帽和防震 橡皮圈。使用液氩时要穿防护服和戴手套。 危险信息：压缩气体，遇热超压可能会引起爆炸，气体大量泄漏可导致人员窒息。低温液体，身体直 接接触易导致冻伤。 警示词：警告 内含高压气体，遇热可能爆炸。 侵入途径：吸入 健康危害主要症状：常气压下无毒。高浓度时，使氧分压降低而发生窒息。氩浓度达50％以上，引起 严重症状；75％以上时，可在数分钟内死亡。当空气中氩浓度增高时，先出现呼吸加速，注意力不集 中，共济失调。继之，疲倦乏力、烦躁不安、恶心、呕吐、昏迷、抽搐，以至死亡。液态氩可致皮肤 冻伤；眼部接触可引起炎症。 应急综述：万一发生吸入性事故，将患者移入新鲜空气出并保持安静，如呼吸停止，进行人工呼吸； 如呼吸困难，给输氧。 环境危害：该物质对环境无危害。 燃爆危险：不燃，但容器受热有爆炸危险。
液氩汽化系统工艺简述液氩汽化系统工艺简述低温液体储罐泄漏事故应急救援预案低温液体储罐泄漏事故应急救援预案事故危险性评估事故危险性评估1111一般危险性评估一般危险性评估111111液体充装管路阀门发生撕裂液体泄漏面积液体充装管路阀门发生撕裂液体泄漏面积20m20m以下未发生燃烧爆炸和窒息能及时控制
2.2 汽化器 是采用空浴式，液氩通过汽化器散热翅片，与空气进行热交换，使 液氩汽化输出。汽化后的氩气经缓冲罐后送到使设备，纯度达到工艺要 求。放空阀保证储槽内压力不超高；增压阀保证储槽内的压力维持在规 定的范围；液氩流量调节阀控制液氩的汽化量，稳定汽化后氩气的压力。 工作所承受的压力：≤2.5MPa（G） 汽 化 量：≥120Nm3/h（单台汽化器汽化量） 加热方式：空气 汽化后氩气出口温度：与环境和温度温差不大于5℃ 主体材质：铝制翅片（LF21-R）
2 控制及消除事故源 2.1 一般危险性事故 2.1.1 控制事故源 2.1.1.1 当班操作人员立即关闭发生泄漏部位之前的阀门。 2.1.1.2 如果是液氧泄露，当班操作人员通知电工切断泄露区域内的局 部电源。 2.1.1.3 以泄露点为半径20米设立警戒线，禁止所有车辆和非抢险人员 进入现场，在现场的车辆严禁启动。 2.1.2 消除事故源 2.1.2.1 对泄漏点按氧气公司检修规程进行检修。 2.1.2.2 视情况转移事故区域内易燃易爆物品。
检查液氩储槽所有阀门和接口是否有漏气现象，充装完成后，打开手动增压 阀，并保持储罐压力在0.70Mpa以下。
1 事故危险性评估 1.1 一般危险性评估 1.1.1 液体充装管路、阀门发生撕裂，液体泄漏面积20m2以下，未发生燃烧爆炸和窒 息，能及时控制。 1.1.2 液体槽车在充装过程中由于槽车本体破裂或充装满灌导致液体泄漏。 1.2 较大危险性评估 1.2.1 液体充装管路、阀门发生撕裂，液体泄漏面积已超过20m2，现场汽雾弥漫。易 导致低温冻伤事故和冻坏建构筑物，事故能得到一定效果控制，未发生燃烧爆炸和窒息。 1.3 严重危险性评估 1.3.1 液体充装管路、阀门发生撕裂，液体储罐紧急切断阀损坏无法操作，液体泄 漏面积已超过100m2，极易导致低温冻伤事故和冻坏建构筑物，并且泄露无法控制。 1.3.2 液氧罐发生泄漏，现场空气中氧气浓度过高（23%），在激发能源作用下易 使储罐及周围一些范围内的物质发生燃烧，严重时会发生爆炸。爆炸引起联锁反应， 危及较大范围内的人员生命安全。 1.3.3 液氮、液氩罐发生泄漏，现场大量惰性气体积聚，人员发生低温冻伤和窒息 事故。
